| 姓名 | 吕光泉 | 职务 | 董事长 |
| 性别/年龄 | 男/61 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 吕光泉，男，1965年出生，美国加州大学圣地亚哥分校博士。1994年8月至2014年8月，先后任职于美国科学基金会尖端电子材料研究中心、美国诺发、德国爱思强公司美国SSTS部，历任副研究员、工程技术副总裁等职。2014年9月至今就职于公司，曾任技术总监、总经理，现任公司董事长。 |
| 姓名 | 尹志尧 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/82 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 尹志尧，男，1944年生，中国科学技术大学学士，加州大学洛杉矶分校博士。1984年至1986年，就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官；2004年至今，担任中微公司董事长及总经理。2015年12月至2017年9月，曾任公司董事。2021年1月至今，任公司董事。 |
| 姓名 | 刘静 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/55 | 学历 | 专科 |
| 简历 | 刘静女士，1971年出生，毕业于东北财经大学会计学专业，大专，具有中国注册会计师资格、高级会计师职称。1993年5月至2010年4月，先后任职于沈阳纺织厂、沈阳北泰方向集团有限公司下属公司、辽宁中天华程科技有限公司，历任财务主管、财务总监、副总经理等职。2010年4月至今就职于公司，历任公司副总经理、财务负责人等职务，现任公司总经理。 |
| 姓名 | 袁训 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/54 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 袁训，男，1972年出生，毕业于北京大学，硕士研究生学历。曾在北京华虹NEC集成电路设计有限公司、意法爱立信半导体（北京）有限公司、微软移动（中国）投资有限公司工作，2015年加入华芯投资管理有限责任公司，历任投资二部高级经理，战略发展部副总经理、总经理，投资四部总经理，投资四部兼投资三部总经理，现任业务三部总经理。 |
| 姓名 | 张昊玳 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/38 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 张昊玳，女，1988年出生，硕士研究生学历。现任华芯投资管理有限责任公司业务三部资深副经理，历任中航国际航空发展有限公司转包财务处主管，华芯投资管理有限责任公司投资三部项目经理、高级经理。 |
| 姓名 | 张憬怡 | 职务 | 非独立董事 |
| 性别/年龄 | 女/42 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 张憬怡，女，1984年生，毕业于伦敦政治经济学院，风险与随机过程专业，硕士研究生学位。2008年11月至2010年3月，任瑞信方正证券有限责任公司投资银行企业融资部分析师，2010年4月至2011年2月，任中德证券有限责任公司投资银行大项目发起部分析师，2011年3月至2012年1月，任瑞士信贷集团（香港）投资银行企业融资部分析师，2012年2月至2016年4月，任中央汇金投资有限责任公司证券机构管理部一级经理，2016年4月至2017年12月，任安邦保险海外投资部副总裁，2017年12月至今，国投创业投资管理有限公司先进制造投资部投资总监。 |
| 姓名 | 刘胜 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/63 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 刘胜，男，1963年出生，美国斯坦福大学机械工程博士，中国科学院院士。2001年5月至今，任华中科技大学教授；2014年4月至今，任武汉大学动力与机械学院院长、工业科学研究院执行院长、微电子学院副院长。 |
| 姓名 | 黄宏彬 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/55 | 学历 | 硕士 |
| 简历 | 黄宏彬，男，1971年出生，上海财经大学工商管理硕士。1994年7月至今，先后任职于上海万国证券公司、上海证券交易所、金浦产业投资基金管理有限公司、京通智汇资产管理有限公司、金圆国际有限公司、上海斐君投资管理中心（有限合伙），历任稽核总部经理、创始合伙人等职。2021年1月至今，任公司独立董事。 |
| 姓名 | 赵国庆 | 职务 | 独立董事 |
| 性别/年龄 | 男/47 | 学历 | 博士 |
| 简历 | 赵国庆，男，1979年出生，南京大学会计学博士，具有中国注册会计师资格。2002年8月至今，先后任职于南京市江宁地方税务局、国家税务总局税务干部学院、中汇江苏税务师事务所有限公司、上海易宏人力资源服务有限公司、中汇睿远税务师事务所有限公司，历任副科长、业务总监、合伙人等职。2021年1月至今，任公司独立董事。 |