4月22日|上海新陽今日在互動平台上表示,公司主要開發括I線、KrF、ArF在內的各類晶圓製造用光刻膠,已實現KrF光刻膠多款產品批量化銷售,2024年光刻膠產品整體銷售規模持續增加,同比增長超100%,ArF浸沒式光刻膠已取得銷售訂單,邁出了實現產業化的第一步。