9月8日|盛美上海今日宣佈推出首款KrF工藝前道塗膠顯影設備Ultra Lith KrF,旨在支持半導體前端製造。該系統的問世標誌着盛美上海光刻產品系列的重要擴充,具有高產能、先進温控技術以及實時工藝控制和監測功能。首台設備系統已於2025年9月交付中國頭部邏輯晶圓廠客户。